מאָטאָר דרוק סענסער 2CP3-68 1946725 פֿאַר קאַרטער עקסקאַווייטער

א מעטאָד פֿאַר פּריפּערינג אַ דרוק סענסער, קעראַקטערייזד דורך די פאלגענדע סטעפּס:

S1, פּראַוויידינג אַ ווייפער מיט אַ צוריק ייבערפלאַך און אַ פראָנט ייבערפלאַך;פאָרמינג אַ פּייזאָרעסיטיווע פּאַס און אַ שווער דאָפּט קאָנטאַקט געגנט אויף די פראָנט ייבערפלאַך פון די ווייפער;פאָרמינג אַ דרוק טיף קאַוואַטי דורך עטשינג די צוריק ייבערפלאַך פון די ווייפער;

S2, באַנדינג אַ שטיצן בלאַט אויף די צוריק פון די ווייפער;

S3, מאַנופאַקטורינג פירן האָלעס און מעטאַל ווירעס אויף די פראָנט זייַט פון די ווייפער, און קאַנעקטינג פּייזאָרעסיטיווע סטריפּס צו פאָרעם אַ ווהעאַטסטאָנע בריק;

S4, דיפּאַזאַץ און פאָרמינג אַ פּאַסיוויישאַן שיכטע אויף די פראָנט ייבערפלאַך פון די ווייפער, און עפן טייל פון די פּאַסיוויישאַן שיכטע צו פאָרעם אַ מעטאַל בלאָק געגנט.2. די מאַנופאַקטורינג אופֿן פון די דרוק סענסער לויט פאָדערן 1, אין וואָס S1 ספּאַסיפיקלי קאַמפּרייזיז די פאלגענדע סטעפּס: S11: פּראַוויידינג אַ ווייפער מיט אַ צוריק ייבערפלאַך און אַ פראָנט ייבערפלאַך, און דיפיינינג די גרעב פון אַ דרוק-שפּירעוודיק פילם אויף די ווייפער;S12: יאָן ימפּלאַנטיישאַן איז געניצט אויף די פראָנט ייבערפלאַך פון די ווייפער, פּייזאָרעסיטיווע סטריפּס זענען מאַניאַפאַקטשערד דורך אַ הויך-טעמפּעראַטור דיפיוזשאַן פּראָצעס, און קאָנטאַקט מקומות זענען שווער דאָפּט;S13: דיפּאַזאַץ און פאָרמינג אַ פּראַטעקטיוו שיכטע אויף די פראָנט ייבערפלאַך פון די ווייפער;S14: עטשינג און פאָרמינג אַ דרוק טיף קאַוואַטי אויף די צוריק פון די ווייפער צו פאָרעם אַ דרוק-שפּירעוודיק פילם.3. די מאַנופאַקטורינג אופֿן פון די דרוק סענסער לויט פאָדערן 1, ווערין די ווייפער איז SOI.

אין 1962, Tufte et al.מאַניאַפאַקטשערד אַ פּיזאָרעסיטיווע דרוק סענסער מיט דיפיוזד סיליציום פּיזאָרעסיטיווע סטריפּס און סיליציום פילם סטרוקטור פֿאַר די ערשטער מאָל, און אנגעהויבן די פאָרשונג אויף פּייזאָרעסיטיווע דרוק סענסער.אין די שפּעט 1960 ס און פרי 1970 ס, די אויסזען פון דריי טעקנאַלאַדזשיז, ניימלי, סיליציום אַניסאָטראָפּיק עטשינג טעכנאָלאָגיע, יאָן ימפּלאַנטיישאַן טעכנאָלאָגיע און אַנאָדיק באַנדינג טעכנאָלאָגיע, געבראכט גרויס ענדערונגען צו די דרוק סענסער, וואָס געשפילט אַ וויכטיק ראָלע אין ימפּרוווינג די פאָרשטעלונג פון די דרוק סענסער. .זינט די 1980 ס, מיט דער ווייַטער אַנטוויקלונג פון מיקראָמאַשינינג טעכנאָלאָגיע, אַזאַ ווי אַניסאָטראָפּיק עטשינג, ליטהאָגראַפי, דיפיוזשאַן דאָפּינג, יאָן ימפּלאַנטיישאַן, באַנדינג און קאָוטינג, די גרייס פון דרוק סענסער איז קאַנטיניואַסלי רידוסט, די סענסיטיוויטי איז ימפּרוווד און די פּראָדוקציע איז הויך און הויך. די פאָרשטעלונג איז ויסגעצייכנט.אין דער זעלביקער צייט, די אַנטוויקלונג און אַפּלאַקיישאַן פון נייַ מיקראָמאַשינינג טעכנאָלאָגיע מאַכן די פילם גרעב פון דרוק סענסער אַקיעראַטלי קאַנטראָולד.