פּאַסיק פֿאַר היטאַטשי קם 11 אָיל דרוק סענסער עקס 200-2-3-5

פיר דרוק טעקנאַלאַדזשיז פון דרוק סענסער

1. קאַפּאַסיטיווע

די קאַפּאַסיטיווע דרוק סענסאָרס זענען יוזשאַוואַלי פייווערד דורך אַ גרויס נומער פון אָעם פאַכמאַן אַפּלאַקיישאַנז. דיטעקטינג קאַפּאַסאַטאַנס ענדערונגען צווישן צוויי סערפאַסיז ינייבאַלז די סענסאָרס צו זינען גאָר נידעריק דרוק און וואַקוום לעוועלס. אין אונדזער טיפּיש סענסאָר קאַנפיגיעריישאַן, אַ סאָליד האָוסינג באשטייט פון צוויי ענג ספּייסט, פּאַראַלעל און ילעקטריקלי ייסאַלייטאַד מעטאַל סערפאַסיז, ​​איינער פון וואָס איז יסענשאַלי אַ דייאַפראַם וואָס קענען בייגן אַ ביסל אונטער דרוק. די פעסט פאַרפעסטיקט סערפאַסיז (אָדער פּלאַטעס) זענען מאָונטעד אַזוי אַז די בענדינג פון די פֿאַרזאַמלונג ענדערונגען די ריס צווישן זיי (פאקטיש פאָרמינג אַ בייַטעוודיק קאַפּאַסאַטער). די ריזאַלטינג ענדערונג איז דיטעקטאַד דורך אַ שפּירעוודיק לינעאַר קאָמפּאַראַטאָר קרייַז מיט (אָדער אַסיק), וואָס אַמפּלאַפייז און אַוטפּוץ אַ פּראַפּאָרשאַנאַל הויך-מדרגה סיגנאַל.

2.קווד טיפּ

כעמישער פארע דעפּאַזישאַן (אָדער "CVD") מאַנופאַקטורינג מעטאָד באַנדס פּאָליסיליקאָן שיכטע צו ומבאַפלעקט שטאָל דייאַפראַם ביי מאָלעקולאַר מדרגה, אַזוי פּראָדוצירן סענסער מיט ויסגעצייכנט לאַנג-טערמין דריפט פאָרשטעלונג. פּראָסט באַטש פּראַסעסינג סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג מעטהאָדס זענען געניצט צו שאַפֿן פּאָליסיליסאָן שפּאַנונג מאָס בריקן מיט ויסגעצייכנט פאָרשטעלונג אין אַ זייער גלייַך פּרייַז. CVD סטרוקטור האט ויסגעצייכנט קאָסטן פאָרשטעלונג און איז די מערסט פאָלקס סענסער אין אָעם אַפּלאַקיישאַנז.

3. ספּאַטערינג פילם טיפּ

ספּאַטערינג פילם דעפּאַזישאַן (אָדער "פילם") קענען מאַכן אַ סענסער מיט מאַקסימום קאַמביינד לינעאַריטי, היסטערעסיס און ריפּיטאַביליטי. די אַקיעראַסי קענען זיין ווי הויך ווי 0.08% פון פול וואָג, בשעת די לאַנג-טערמין דריפט איז אַזוי נידעריק ווי 0.06% פון די פול וואָג יעדער יאָר. ויסערגעוויינלעך פאָרשטעלונג פון שליסל ינסטראַמאַנץ - אונדזער ספּאַטערד דין פילם סענסער איז אַ אוצר אין דעם דרוק סענסינג אינדוסטריע.

4.mms טיפּ

די סענסאָרס נוצן מיקראָ-מאַשאַנד סיליציום (ממס) דייאַפראַם צו דעטעקט דרוק ענדערונגען. די סיליקאָן דייאַפראַם איז אפגעזונדערט פון די מיטל דורך די בוימל-אָנגעפילט 316 סס, און זיי רעאַגירן אין סעריע מיט די מאָטאָר פליסיק דרוק. ממס סענסער אַדאַפּט פּראָסט סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג טעכנאָלאָגיע, וואָס קענען דערגרייכן הויך וואָולטידזש קעגנשטעל, גוט לינאַראַטי, ויסגעצייכנט טערמאַל קלאַפּ פאָרשטעלונג און פעסטקייַט אין אַ סאָלידאַביליטי אין סאָלידאַביליטי אין סאָלידאַביליטי אין סאָלידאַביליטי אין סאָלידאַביליטי אין סאָלידאַביליטי אין אַ סאָלידאַביליטי אין סאָלידאַביליטי אין סאָלידאַביליטי אין סאָלידאַביליטי אין סאָלידאַביליטי אין סאָלידאַביליטי אין סאָלידאַביליטי אין אַ סאָלידאַביליטי אין סאָלידליפּעץ.