פּאַסיק פֿאַר Hitachi KM11 ייל דרוק סענסער EX200-2-3-5

פיר דרוק טעקנאַלאַדזשיז פון דרוק סענסער

1. קאַפּאַסיטיווע

קאַפּאַסיטיווע דרוק סענסאָרס זענען יוזשאַוואַלי פייווערד דורך אַ גרויס נומער פון אָעם פאַכמאַן אַפּלאַקיישאַנז. דיטעקטינג קאַפּאַסאַטאַנס ענדערונגען צווישן צוויי סערפאַסיז ינייבאַלז די סענסאָרס צו זינען גאָר נידעריק דרוק און וואַקוום לעוועלס. אין אונדזער טיפּיש סענסער קאַנפיגיעריישאַן, אַ סאָליד האָוסינג באשטייט פון צוויי ענג ספּייסט, פּאַראַלעל און ילעקטריקלי אפגעזונדערט מעטאַל סערפאַסיז, ​​​​איינער פון וואָס איז יסענשאַלי אַ דייאַפראַם וואָס קענען בייגן אַ ביסל אונטער דרוק. די פעסט פאַרפעסטיקט סערפאַסיז (אָדער פּלאַטעס) זענען מאָונטעד אַזוי אַז די בענדינג פון די פֿאַרזאַמלונג ענדערונגען די ריס צווישן זיי (אַקשלי פאָרמינג אַ בייַטעוודיק קאַפּאַסאַטער). די ריזאַלטינג ענדערונג איז דיטעקטאַד דורך אַ שפּירעוודיק לינעאַר קאַמפּעראַטאָר קרייַז מיט (אָדער אַסיק), וואָס אַמפּלאַפייז און אַוטפּוץ אַ פּראַפּאָרשאַנאַל הויך-מדרגה סיגנאַל.

2.CVD טיפּ

כעמישער פארע דעפּאַזישאַן (אָדער "CVD") מאַנופאַקטורינג אופֿן קייטן פּאָליסיליקאָן שיכטע צו ומבאַפלעקט שטאָל דייאַפראַם אויף מאָלעקולאַר מדרגה, אַזוי פּראַדוסינג סענסער מיט ויסגעצייכנט לאַנג-טערמין דריפט פאָרשטעלונג. פּראָסט פּעקל פּראַסעסינג סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג מעטהאָדס זענען געניצט צו שאַפֿן פּאָליסיליקאָן שפּאַנונג מאָס בריקן מיט ויסגעצייכנט פאָרשטעלונג צו אַ זייער גלייַך פּרייַז. CVD סטרוקטור האט ויסגעצייכנט פּרייַז פאָרשטעלונג און איז די מערסט פאָלקס סענסער אין אָעם אַפּלאַקיישאַנז.

3. ספּוטערינג פילם טיפּ

ספּוטערינג פילם דעפּאַזישאַן (אָדער "פילם") קענען מאַכן אַ סענסער מיט מאַקסימום קאַמביינד לינעאַריטי, היסטערעסיס און ריפּיטאַביליטי. די אַקיעראַסי קענען זיין ווי הויך ווי 0.08% פון פול וואָג, בשעת די לאַנג-טערמין דריפט איז ווי נידעריק ווי 0.06% פון פול וואָג יעדער יאָר. ויסערגעוויינלעך פאָרשטעלונג פון שליסל ינסטראַמאַנץ - אונדזער ספּאַטערד דין פילם סענסער איז אַן אוצר אין די דרוק סענסינג אינדוסטריע.

4.MMS טיפּ

די סענסאָרס נוצן מיקראָ-מאַשינד סיליציום (MMS) דייאַפראַם צו דעטעקט דרוק ענדערונגען. די סיליציום דייאַפראַם איז אפגעזונדערט פון די מיטל דורך די ייל-אָנגעפילט 316סס, און זיי רעאַגירן אין סעריע מיט דעם פּראָצעס פליסיק דרוק. ממס סענסער אַדאַפּץ פּראָסט סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג טעכנאָלאָגיע, וואָס קענען דערגרייכן הויך וואָולטידזש קעגנשטעל, גוט לינעאַריטי, ויסגעצייכנט טערמאַל קלאַפּ פאָרשטעלונג און פעסטקייַט אין אַ סאָליד סענסער פּעקל.