סטרוקטור פון פּירעזאָרעסיסטיווע סענסער

אין דעם סענסער, די רעסיסטאָר פּאַס איז ינאַגרייטיד אויף די מאָנאָקרימילינע סיליסטיק סיפּיאָן דייאַפראַם דורך ינאַגריישאַן פּראָצעס צו מאַכן אַ סיליקאָן פּיעזאָרעסיסטיווע שפּאָן, און די פּעריפעריע פון ​​דעם שפּאָן איז פאַרפעסטיקט אין די שאָל, און די ילעקטראָדע לידז זענען געפֿירט אויס. פּיעזאָרעסיסטיווע דרוק סענסער, אויך באקאנט ווי האַרט-שטאַט דרוק סענסער, איז אַנדערש פון קלעפּיק שפּאַנונג מאָס, וואָס דאַרף צו פילן די פונדרויסנדיק קראַפט מיט גומע שפּירעוודיק עלעמענטן, אָבער אויך פילז די געמאסטן דרוק דורך סיליקאָן דייאַפראַם.

איין זייַט פון די סיליקאָן דייאַפראַם איז אַ הויך-דרוק קאַוואַטי קאַמיונאַקייטינג מיט די געמאסטן דרוק, און די אנדערע זייַט איז אַ נידעריק-דרוק קאַוואַטי קאַמיונאַקייטינג מיט די אַטמאָספער. אין אַלגעמיין, די סיליציום דייאַפראַם איז דיזיינד ווי אַ קרייַז מיט פאַרפעסטיקט פּעריפערי, און די אנדערע צוויי זענען אין די קאַמפּרעסערי פון די טענסאַל פּאַס און די טאַקעריקאַל סילאַם, וואָס זענען סאַמעטריקאַל פיליסטיקאַן דייאַפראַם דייאַפראַם.

אין דערצו, עס זענען אויך קוואַדראַט סיליקאָן דייאַפראַם און סיליציום זייַל סענסער. די סיליציום סילינדריקאַל סענסער איז אויך געמאכט פון אַנטקעגנשטעלנ זיך סטריפּס דורך דיפיוזשאַן אין אַ זיכער ריכטונג פון אַ קריסטאַל פלאַך פון די סיליציום צילינדער און צוויי טענסאַל דרוק אַנטקעגנשטעלנ זיך אַנטקעגנשטעלנ זיך סטריפּס און צוויי קאַמפּרעסיוו סטרעסטשיוו סטריפּס פאָרעם אַ פול בריק.

פּיעזאָרעסיסטי סענסער איז אַ מיטל געמאכט דורך דיפיוזשאַן קעגנשטעל אויף די סאַבסטרייט פון סעמיקאַנדאַקטער לויט צו די פּיעזאָרעסיסטיווע ווירקונג פון סעמיקעוואָקטאָר מאַטעריאַל. זייַן סאַבסטרייט קענען זיין דירעקט געניצט ווי אַ מעסטן סענסער, און די דיפיוזשאַן קעגנשטעל איז פארבונדן אין די סאַבסטרייט אין דער פאָרעם פון אַ בריק.

ווען די סאַבסטרייט איז דיפאָרמד דורך פונדרויסנדיק קראַפט, די קעגנשטעל וואַלועס וועט טוישן און די בריק וועט פּראָדוצירן קאָראַספּאַנדינג אַנבאַלאַנסט רעזולטאַט. די סאַבסטרייץ (אָדער דייאַפראַמז) געוויינט ווי פּיעזאָרעסיסטיווע סענסאָרס זענען דער הויפּט סיליקאַן ווייפערז און גערמאַליום ווייפערז. סיליציום פּיעזאָרעסיסטיווע סענסאָרס געמאכט פון סיליציום ווייפערז ווי שפּירעוודיק מאַטעריאַלס האָבן געצויגן מער און מער ופמערקזאַמקייט, ספּעציעל די סאָליזאָרעסיסטיווע סענסאָרס פֿאַר מעאַסורינג דרוק און גיכקייַט זענען די מערסט וויידלי געוויינט פֿאַר די גיכקייַט פון די גיכקייַט.