סטרוקטור פון פּיזאָרעסיטיווע סענסאָר

אין דעם סענסער, די רעסיסטאָר פּאַס איז ינאַגרייטיד אויף די מאָנאָקריסטאַללינע סיליציום דייאַפראַם דורך ינטאַגריישאַן פּראָצעס צו מאַכן אַ סיליציום פּיזאָרעסיטיווע שפּאָן, און די פּעריפעריע פון ​​דעם שפּאָן איז פאַרפעסטיקט פּאַקידזשד אין די שאָל, און די ילעקטראָוד פירט זענען געפירט אויס. פּיזאָרעסיטיווע דרוק סענסער, אויך באקאנט ווי האַרט-שטאַט דרוק סענסער, איז אַנדערש פון קלעפּיק שפּאַנונג מאָס, וואָס דאַרף צו פילן די פונדרויסנדיק קראַפט מינאַצאַד דורך גומע שפּירעוודיק עלעמענטן, אָבער גלייַך פילז די געמאסטן דרוק דורך סיליציום דייאַפראַם.

איין זייַט פון די סיליציום דייאַפראַם איז אַ הויך-דרוק קאַוואַטי קאַמיונאַקייטינג מיט די געמאסטן דרוק, און די אנדערע זייַט איז אַ נידעריק-דרוק קאַוואַטי קאַמיונאַקייטינג מיט די אַטמאָספער. בכלל, די סיליציום דייאַפראַם איז דיזיינד ווי אַ קרייַז מיט פאַרפעסטיקט פּעריפעריע, און די פאַרהעלטעניש פון דיאַמעטער צו גרעב איז וועגן 20 ~ 60. פיר פּ טומע קעגנשטעל סטריפּס זענען דיפיוזד לאָוקאַלי אויף די קייַלעכיק סיליציום דייאַפראַם און קאָננעקטעד אין אַ פול בריק, צוויי פון וואָס זענען אין די קאַמפּרעסיוו דרוק זאָנע און די אנדערע צוויי זענען אין די טענסאַל דרוק זאָנע, וואָס זענען סאַמעטריקאַל מיט רעספּעקט צו די צענטער פון די דייאַפראַם.

אין אַדישאַן, עס זענען אויך קוואַדראַט סיליציום דייאַפראַם און סיליציום זייַל סענסער. די סיליציום סילינדריקאַל סענסער איז אויך געמאכט פון רעסיסטיווע סטריפּס דורך דיפיוזשאַן אין אַ זיכער ריכטונג פון אַ קריסטאַל פלאַך פון די סיליציום צילינדער, און צוויי טענסאַל דרוק רעסיסטיווע סטריפּס און צוויי קאַמפּרעסיוו דרוק רעסיסטיווע סטריפּס פאָרעם אַ פול בריק.

פּיזאָרעסיטיווע סענסער איז אַ מיטל געמאכט דורך דיפיוזשאַן קעגנשטעל אויף די סאַבסטרייט פון סעמיקאַנדאַקטער מאַטעריאַל לויט די פּיזאָרעסיטיווע ווירקונג פון סעמיקאַנדאַקטער מאַטעריאַל. זייַן סאַבסטרייט קענען זיין גלייך געניצט ווי אַ מעסטן סענסער, און די דיפיוזשאַן קעגנשטעל איז קאָננעקטעד אין די סאַבסטרייט אין די פאָרעם פון אַ בריק.

ווען די סאַבסטרייט איז דיפאָרמד דורך פונדרויסנדיק קראַפט, די קעגנשטעל וואַלועס וועט טוישן און די בריק וועט פּראָדוצירן קאָראַספּאַנדינג אַנבאַלאַנסט רעזולטאַט. די סאַבסטרייץ (אָדער דייאַפראַמז) געניצט ווי פּייזאָרעסיטיווע סענסאָרס זענען דער הויפּט סיליציום ווייפערז און גערמאַניום ווייפערז. סיליציום פּיזאָרעסיטיווע סענסאָרס געמאכט פון סיליציום ווייפערז ווי שפּירעוודיק מאַטעריאַלס האָבן געצויגן מער און מער ופמערקזאַמקייט, ספּעציעל די האַרט-שטאַט פּייזאָרעסיטיווע סענסאָרס פֿאַר מעסטן דרוק און גיכקייַט זענען די מערסט וויידלי געניצט.